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概述

调研大纲

1、行业定义

低温泵是一种利用表面温度低的冷凝气体进行冷却的泵，也被称为冷凝泵。在所有真空泵中，它具有在对于清洁真空获取时抽气速率最大的特点，应用场景覆盖集成电路的研究、真空镀膜设备、离子注入机等方面。根据工作原理，泵可大体分为两种，分别是往复式和离心式。

2、研究结论

低温泵是一种超高真空获得设备，凭借其自身的特点与优势，已广泛应用于半导体制造、工业真空镀膜、太阳能利用等工艺与设备中，随着下游应用领域的迅速发展，作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大，市场前景广阔。

据bet雷竞技数据显示，中国低温泵销量由2018年的22530台增长到了2022年的29755台。2022年全球页岩气市场总规模约为17.89亿元，预计到2028年总规模将突破22.31亿元，未来六年市场CAGR约为8.79%。中国低温泵市场的主要驱动因素是技术支持和下游应用领域的需求不断增加。低温泵具有广泛的应用前景，可以为工业各领域真空环境的实现提供便利。随着技术的不断进步和政策支持力度不断加大，低温泵的应用前景将会更加广阔。

3、中国低温泵市场主要企业名单及介绍

3.1 CRYOMEC

Cryomec公司成立于1977年，总部坐落于瑞士，是低温泵市场领域的领先公司。其主要产品包括低温泵，涡轮机，压缩机和换热器等广泛应用于液氮、液氧、液氩、二氧化碳、LNG等方面。cryomec的多极离心泵性价比高，普遍认为相当有竞争能力。2018年CRYOMEC市场销售额为2.68亿元。

3.2 NIKKISO ACD

ACD公司成立至今50多年来，是全球低温泵产品主要制造企业之一。2017年，经并购，ACD成为Nikkiso集团下属制造厂。公司于1996年在中国杭州成立布朗低温设备有限公司，主要负责中国区Nikkiso旗下的低温泵销售与服务，并组装一部分产品。2018年NIKKISO ACD市场销售额为2.02亿元。

3.3 CRYOSTAR

Cryostar是一个国际性的专注于生产工业气体、LNG、碳氢化合物和清洁能源设备的集团公司，公司成立于1966年，总部设在法国Hesingue，是欧洲第一家生产液化气体低温输送泵的公司，在英国、美国、巴西、新加坡和中国等全球多地设有分支机构。2018年CRYOSTAR市场销售额为1.85亿元。

3.4 SEFCO

Sefco是全球先进低温设备的领先制造商之一，低温泵产品包括离心式和往复式活塞泵，Sefco拥有两座高性能的低温和流体动力测试设施，液氮容量为60'000升，产品稳定性具有一定优势。2018年SEFCO市场销售额为1.65亿元。

3.5 CRYO-MACH

CRYO-MACH自1969年以来在低温泵领域处于专业和领跑地位。CRYO-MACH低温泵产品性能优势明显，其设计的动态平衡系统将涡轮叶轮震动的影响降到最低，实现叶片的高速工作，同时，先进液压设计，保证吸入口和泵壳的稳定性。2018年CRYO-MACH市场销售额为1.57亿元。

3.6 ULVAC

ULVAC公司成立于1981年，由爱发科株式会社（原日本真空技术株式会社）和美国Helix Technology Corporation(CTI)共同出资和技术合作成立。产品类型包括低温泵，涡轮分子泵和干泵等，该公司产品在日本国内的低温泵市场占40%。2018年ULVAC市场销售额为1.21亿元。

3.7 EDWARDS CTI

CTI Cryogenics是世界上设计制造低温泵较早的企业，也是全球低温泵一流的供应商。2018年Atlas Copco集团收购了Brooks Automationg公司的低温泵业务，并将此业务置于集团旗下的Edwards子公司，低温泵产品也正式更名为EDWARDS CTI-CRYOGENICS。2018年EDWARDS CTI市场销售额为0.66亿元。

3.8 住友重机械低温集团

住友重机械工业株式会社2002年，通过收购IGC-APD低温制冷公司，两家具有世界领先技术水准的低温产品公司进行了合并，从而组成了住友重机械工业低温集团。住友低温泵起步较晚，但发展非常之迅速，获得了多项专利技术，并针对集成电路应用进行了多次技术改进，其最新型低温泵在国内集成电路行业对CTI产品已造成一定的竞争压力。2018年住友重机械低温集团市场销售额为0.62亿元。

4、低温泵产品分类及市场分析

叶片式：2018年市场销量为14194台，市场份额为63%

往复式：2018年市场销量为8336台，市场份额为37%

图：中国各类型低温泵销量占比（2018年）

中国各类型低温泵销量占比（2018年）